|高真空元件-用語集
記載內(nèi)容為一般性特征，根據(jù)工藝條件不同有所變化。詳細信息請咨詢密封材料廠商。
FKM（氟橡膠）氣體放出少、壓縮永久變形小、氣體滲透量小，被廣泛地作為高真空密封材料使用。 SMC高真空型L型閥的標準材料使用的為三菱電線工業(yè)（株）制（復合物No.1349-80）。 另有利用O2等離子體從而改善了重量減少率的復合物（3310-75），請根據(jù)用途選擇。
Kalrez?Dupont Elastomers公司的注冊商標。 耐熱性，耐化學性優(yōu)良的高氟橡膠（FFKM），但需注意壓縮永久變形。還擁有抗等離子體性（O2、CF4）和防塵性的改良產(chǎn)品，請根據(jù)用途選擇。 復合物No.4079：，具有良好的耐氣體性和耐熱性的標準Kalrez材料。
Chemraz?Chemraz?是Green，Tweed&CO.公司的注冊商標。耐化學品性、耐等離子體性優(yōu)良的全氟橡膠（FFKM）。是耐化學品性、耐等離子體性優(yōu)良的高氟橡膠（FFIKM）。耐熱性也比FKM稍高。請根據(jù)使用的等離子體及其他條件進行選擇。 復合物No.SS592：具有優(yōu)秀的物理特性，在運動部分使用具有更好的效果。復合物No.SS630：可用于固定部分及運動部分，用途廣泛。復合物No.SSE38：專門開發(fā)用于高密度等離子體，在Chemraz中是潔凈度最高的材料。
Barrel Perfluoro?松村石油(株)的注冊商標。 復合物No.70W：不含有金屬填充材料的高氟橡膠（FFKM）。對NF33·NH3具有抗性。在干燥工藝環(huán)境下產(chǎn)生顆粒少，壓縮永久變形也相對較小。
ULTIC ARMOR?日本華爾卡工業(yè)（株）的注冊商標。 不含有金屬填充材料的氟橡膠。是具有抗等離子體性、低氣體釋放性、耐熱性的密封材料。
有機硅塑料（硅膠、VMQ）相對低價且抗等離子體性良好，但氣體滲透量大。 SMC高真空L型閥（密封材料選項）為三菱電線工業(yè)（株）制（復合物No：1232-70白）。在O2等離子體、NH3氣體下使用，具有低重量減少率、低顆粒等特點。
EPDM（乙丙橡膠）相對低價且耐 性、耐化學性、耐熱性良好，但對普通礦油毫無抗性。SMC高真空L型閥（密封材料選項）為三菱電線工業(yè)（株）制（復合物No：2101-80）。具對NH3等具有抗性。
粉塵產(chǎn)生及氣體釋放量最少，是清潔的密封方法。主流是成型波紋管波紋管和焊接波紋管。前者粉塵產(chǎn)生較少相對耐塵性強，后者行程大，但在粉塵產(chǎn)生及耐塵方面較弱。需要注意其耐久性受行程及速度的影響。
O形密封圈等氣體吸入、粉塵產(chǎn)生等方面的真空性能稍劣于波紋管式，但可高速運轉(zhuǎn)且耐久性相對較高。軸密封部分一般會涂抹氟潤滑脂。
向操作用電磁閥施加電壓后，閥(XL□)的行程的進行至90%的時間為閥開啟響應時間。閥開啟動作時間為行程開始至進行到行程的90%的時間。兩者均為操作壓力越高時間越快。
閥關閉將操作用電磁閥的電源關閉，閥(XL□)回歸至行程90%的時間為閥關閉響應時間。閥關閉動作時間為閥關閉至回歸到行程90%的時間。兩者均為操作壓力越高時間越長。
在超薄板中存在?A（cm2）大小的孔的情況下，V為氣體的平均速度，R為氣體常數(shù)，M為分子量，T為絕對溫度，流導“C”為C=VA/4=(RT /2πM))0.5A、在20℃的空氣下、流導C=11.6A(L/sec)。
圓筒的流導
長度為L(cm)直徑為D(cm),在L>D的情況下、由于C=(2πRT/M)0.5D3/6L，在20℃的空氣下，流導C=12.1D3/L(L/sec)。
短管的流導可以簡單地由下圖（克勞辛系數(shù)圖）的克勞辛系數(shù)K和孔的流導C得出短管的流導CK，CK=KC。
流導的合成
各個流導為C1、C2…Cn，則合成流導ΣC為 串聯(lián)配管時 ΣC=1/(1/C1+1/C2+…+1/Cn) 并聯(lián)配管時 ΣC=C1+C2+…+Cn
附著和吸著在金屬等的表面和極淺的內(nèi)部的氣體，由于壓力下降從表面脫離飛入真空中的現(xiàn)象。這隨著表面的先滑度及氧化膜的緊密性而降低。
氣體放出Qg和泄露量Q(L)的和為Q(Pa?m3/s)，排氣速度為S(m3/s)時，則到達壓力P(Pa)為P=Q/S。到達壓力除受上述Qg、Q(L)S的影響之外，還受到泵自身的到達壓力所限定，當壓力較低時泵自身的排氣特性會受到較大影響。特別是泵自身的污染導致排氣特性下降、大氣泄露導致的浸水會對其造成極大的影響。
在無泄漏的容積為V(L)的空間，用排氣速度為S(L/sec)的氣泵從壓力P1向P2排氣的時間(Δt)，由于只有容積的排氣負荷，則Δt=2.3(V/S)log(P1/P2)。在高真空下，由于有表面層（氣體放出）的排氣負荷，因此受空間的表面狀態(tài)和表面積以及泵的排氣速度的影響。
活化能（E）較小吸附時間（τ）較短的氧氣、氮氣等可以較快排出。但活化能較大的情況下排氣無法進行，提高溫度（絕對溫度T）后吸附時間縮短則可以快速排出。R為氣體常數(shù)，則τ0=(約)10-13sec、τ=τ0 exp(E/RT)。 例如，水的吸附時間在20℃時為5.5×10-6sec，在150℃為2.8×10-8sec約為前者的1/200，可以將吸附時間較長的水快速排出。
